應(yīng)用自主設(shè)計(jì)刀具通過鉆、銑、鉸等精密加工技術(shù)，使流道、功能面&密封面實(shí)現(xiàn)高面粗度、高硬度的性能要求。

應(yīng)用不銹鋼鏡面拋光技術(shù)，在機(jī)械加工的基礎(chǔ)上進(jìn)一步提高流道面粗度，實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、高效率的復(fù)雜工位鏡面拋光。

產(chǎn)品流道內(nèi)表面粗糙度滿足SEMI標(biāo)準(zhǔn)的同時(shí)可達(dá)主流國際客戶的更高標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)氣體流通最小湍流、紊流，滿足氣體傳輸?shù)目焖俜磻?yīng)與耐腐蝕要求。