核心技術(shù)
不銹鋼超高光潔度
制造技術(shù)
應(yīng)用自主設(shè)計(jì)刀具通過鉆、銑、鉸等精密加工技術(shù),使流道、功能面&密封面實(shí)現(xiàn)高面粗度、高硬度的性能要求。
應(yīng)用不銹鋼鏡面拋光技術(shù),在機(jī)械加工的基礎(chǔ)上進(jìn)一步提高流道面粗度,實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、高效率的復(fù)雜工位鏡面拋光。
產(chǎn)品流道內(nèi)表面粗糙度滿足SEMI標(biāo)準(zhǔn)的同時(shí)可達(dá)主流國際客戶的更高標(biāo)準(zhǔn),實(shí)現(xiàn)氣體流通最小湍流、紊流,滿足氣體傳輸?shù)目焖俜磻?yīng)與耐腐蝕要求。
高精密微孔制造技術(shù)
通過對材料進(jìn)行精細(xì)控制和加工,可以實(shí)現(xiàn)微小孔洞的制造。該技術(shù)還可以控制孔洞的形狀、尺寸和表面質(zhì)量,從而滿足不同應(yīng)用的需求。
專業(yè)高速打孔機(jī)臺和AOI檢測設(shè)備,用于微孔加工和檢測。
高精密多工位
復(fù)雜曲面制造技術(shù)
復(fù)雜曲面多軸聯(lián)動加工技術(shù),滿足大尺寸腔體和多工位一站式加工,同時(shí)可提供腔體結(jié)構(gòu)優(yōu)化、加工方案制定等一體化解決方案。
等離子噴涂技術(shù)
等離子噴涂(PS)是使用直流電源驅(qū)動,通過陰極與陽極之間產(chǎn)生超高溫度的電弧等離子體,進(jìn)而瞬間加熱陶瓷等材料形成半熔融化,沉積在基材表面生成涂層的工藝方式。
納米薄膜技術(shù)
鋁基氟化
阻止環(huán)境中的F plasma與鋁基反應(yīng),保證heater加熱均勻性和穩(wěn)定性
高性能化學(xué)鍍鎳技術(shù)
化學(xué)鍍鎳技術(shù)通過國際主流客戶認(rèn)證,通過提高零件的耐腐蝕性,從而提高零件性能,保證半導(dǎo)體設(shè)備的穩(wěn)定性,為客戶提供鍍膜解決方案
耐腐蝕陽極氧化技術(shù)
陽極氧化技術(shù)(硬質(zhì)陽極、硫酸陽極、染色陽極等)通過國際主流客戶認(rèn)證,通過提高零件的耐腐蝕性,從而提高零件性能,保證半導(dǎo)體設(shè)備的穩(wěn)定性,為客戶提供鍍膜解決方案
高潔凈度精密清洗
技術(shù)
高潔凈度精密清洗技術(shù)通過國際主流客戶認(rèn)證,為客戶提供高潔凈清洗方案
激光焊接技術(shù)
焊接工藝已通過主流客戶以及AWS激光焊接認(rèn)證,可實(shí)現(xiàn)精密, 復(fù)雜, 穩(wěn)定,重復(fù)性好及高質(zhì)量焊,具有焊接設(shè)計(jì)能力,為客戶提供有效的焊接方案
電子束焊接技術(shù)
德國進(jìn)口電子束焊接設(shè)備,焊接工藝已通過主流客戶以及AWS焊接認(rèn)證,可實(shí)現(xiàn)精密、復(fù)雜、穩(wěn)定、重復(fù)性好及高質(zhì)量焊,具有焊接設(shè)計(jì)能力,為客戶提供有效的焊接方案。
釬焊焊接技術(shù)
在真空釬焊過程中,兩個(gè)或多個(gè)材料通過一個(gè)或多個(gè)填充材料(通常是釬料)的中間層連接在一起。這個(gè)過程在真空或者接近真空的環(huán)境中進(jìn)行,以減少氧氣和其他雜質(zhì)的存在,從而防止氧化和其他不良反應(yīng)。釬料在較低的溫度下熔化,并在材料之間形成堅(jiān)固的連接。
超潔凈氣體傳輸柜設(shè)計(jì)技術(shù)
我司具有豐富的超潔凈氣體傳輸柜設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn),覆蓋80%以上半導(dǎo)體前道工藝干法制程氣體傳輸柜。自主開發(fā)智能化設(shè)計(jì)平臺,顛覆傳統(tǒng)設(shè)計(jì)模式,使Gasbox設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化,通過標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫搭建,實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)輸出高質(zhì)量、高效率
超潔凈管路焊接技術(shù)
我司憑借先進(jìn)的焊接設(shè)備和獨(dú)特的焊接工藝,致力于打造出符合并超越半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的管道焊接產(chǎn)品
超潔凈氣柜制造技術(shù)
我司以建設(shè)氣柜全球領(lǐng)先裝配生產(chǎn)線、領(lǐng)先全球半導(dǎo)體氣柜制造模式、提高效率和質(zhì)量為目的,同時(shí)符合氣柜生產(chǎn)工藝標(biāo)準(zhǔn)為原則,自主研發(fā)自動生產(chǎn)線,改變了傳統(tǒng)的生產(chǎn)模式,有更好的過程質(zhì)量控制。
超潔凈氣柜檢測技術(shù)
項(xiàng)目提供一站式自動化、信息化平臺,大幅度提高了測試效率和質(zhì)量,提高檢測效率,領(lǐng)先國內(nèi)氣體輸送系統(tǒng)功能測試設(shè)備。