陰極套筒
應(yīng)用于ETCH反應(yīng)腔內(nèi)，與機臺等離子體直接接觸的核心工藝部件，在等離子體氛圍中起到刻蝕晶圓下方的陰極外壁保護功能，表面需要高耐腐蝕高潔凈的陶瓷涂層保護。
咨詢專家
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產(chǎn)品特點
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相關(guān)方案
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質(zhì)量管理
產(chǎn)品特點
使用外壁高純釔基涂層
內(nèi)壁陽極氧化，提高產(chǎn)品壽命
使用等離子噴涂技術(shù)做高純釔基涂層
具備極高的化學(xué)穩(wěn)定性及耐酸堿耐電壓耐等離子腐蝕的涂層表面技術(shù)做防護，使得部件與等離子體直接接觸
涂層原料純度>99.95%
耐擊穿電壓>700V/mil，耐酸腐蝕>3h，結(jié)合力>14MPa
質(zhì)量管理
富創(chuàng)質(zhì)量管理秉承"好的質(zhì)量是設(shè)計、制造出來的"為原則,關(guān)注客戶端到端的質(zhì)量服務(wù),從研發(fā)、設(shè)計、過程全生命周期質(zhì)量管理關(guān)注各環(huán)節(jié)中入口質(zhì)量、過程質(zhì)量、出口質(zhì)量,以保證整體質(zhì)量可控,最終構(gòu)建成以以預(yù)防為主的質(zhì)量文化,助力客戶產(chǎn)品更具競爭力。
