內襯
應用于ETCH反應腔內，與機臺等離子體直接接觸的核心工藝部件，用于在等離子體刻蝕環(huán)境中起到側壁防護的作用，表面需要高耐腐蝕高潔凈的陶瓷涂層保護。
咨詢專家
-
產(chǎn)品特點
-
相關方案
-
質量管理
產(chǎn)品特點
使用外壁陽極氧化
內壁高純釔基涂層做防護，提高產(chǎn)品壽命
使用等離子噴涂技術做高純釔基涂層
具備極高的化學穩(wěn)定性及耐酸堿耐電壓耐等離子腐蝕的涂層表面技術做防護，使得部件與等離子體直接接觸
高耐腐蝕
高耐腐蝕的設備零部件是芯片制程設備的功能需求，零件的耐腐蝕性能決定了設備的功能性、可靠性、和設備在線停機維護的頻次高低。
質量管理
富創(chuàng)質量管理秉承"好的質量是設計、制造出來的"為原則,關注客戶端到端的質量服務,從研發(fā)、設計、過程全生命周期質量管理關注各環(huán)節(jié)中入口質量、過程質量、出口質量,以保證整體質量可控,最終構建成以以預防為主的質量文化,助力客戶產(chǎn)品更具競爭力。
