腔室快門
應用于ETCH反應腔內(nèi)，與機臺等離子體直接接觸的核心工藝部件，用于傳送晶圓至腔內(nèi)進行開關傳動的作用。表面需要高耐腐蝕高潔凈的陶瓷涂層保護。
咨詢專家
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產(chǎn)品特點
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相關方案
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質(zhì)量管理
產(chǎn)品特點
使用內(nèi)壁高純釔基涂層
外壁陽極氧化，提高產(chǎn)品壽命
使用等離子噴涂技術做高純釔基涂層
具備極高的化學穩(wěn)定性及耐酸堿耐電壓耐等離子腐蝕的涂層表面技術做防護，使得部件與等離子體直接接觸
涂層原料純度>99.95%
耐擊穿電壓>700V/mil，耐酸腐蝕>3h，結合力>14MPa
質(zhì)量管理
富創(chuàng)質(zhì)量管理秉承"好的質(zhì)量是設計、制造出來的"為原則,關注客戶端到端的質(zhì)量服務,從研發(fā)、設計、過程全生命周期質(zhì)量管理關注各環(huán)節(jié)中入口質(zhì)量、過程質(zhì)量、出口質(zhì)量,以保證整體質(zhì)量可控,最終構建成以以預防為主的質(zhì)量文化,助力客戶產(chǎn)品更具競爭力。
