傳輸腔
傳輸腔室半導(dǎo)體設(shè)備中的核心工藝零部件，對密封性、?潔凈度及耐腐蝕能力有較高要求
咨詢專家
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產(chǎn)品特點(diǎn)
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產(chǎn)品參數(shù)
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質(zhì)量管理
產(chǎn)品特點(diǎn)
高精密、復(fù)雜關(guān)鍵工位
零件有多處處關(guān)鍵工位和關(guān)鍵尺寸，對晶圓的傳輸和密封有關(guān)鍵作用
高密封性
傳輸腔用途主要是用于將晶圓從第一腔室轉(zhuǎn)移至第二腔室，密封性是確保晶圓質(zhì)量的關(guān)鍵因素
高潔凈度
高潔凈的設(shè)備零部件是晶圓工藝制程得到良品率的基礎(chǔ)。制程設(shè)備的潔凈度直接決定了在制晶圓及后續(xù)芯片的良品率，甚至決定了整條生產(chǎn)線是否有合格品產(chǎn)出
產(chǎn)品參數(shù)
| 材料 | 鋁合金 |
| 外形尺寸 | 3200*1500*220mm |
質(zhì)量管理
富創(chuàng)質(zhì)量管理秉承"好的質(zhì)量是設(shè)計(jì)、制造出來的"為原則,關(guān)注客戶端到端的質(zhì)量服務(wù),從研發(fā)、設(shè)計(jì)、過程全生命周期質(zhì)量管理關(guān)注各環(huán)節(jié)中入口質(zhì)量、過程質(zhì)量、出口質(zhì)量,以保證整體質(zhì)量可控,最終構(gòu)建成以以預(yù)防為主的質(zhì)量文化,助力客戶產(chǎn)品更具競爭力。
